上海车仪田科技有限公司
2023-06-12
作者：135期 吴同学
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上海车仪田科技有限公司成立于2018年，为半导体设备行业提供光学原位检测仪器和应用解决方案。公司开发的终点检测系统应用于干法刻蚀、离子束刻蚀、CVD清洗、CMP和Strip去胶等工艺的终点检测和等离子体诊断。高温原位检测系统应用于MOCVD、HTCVD等高温设备的非接触式光学量测，包括温度、反射率和翘曲的实时计算。 车仪田科技在光学、电子、软件和工艺等专业领域有多年的半导体设备工业化应用经验，解决方案基于高良率、高性能和APC先进过程控制。在工业量产方面，公司产品致力于持续的成本降低、效率提高和质量控制。和客户在先进的信号处理算法方面紧密合作，保持与国外最先进技术同步。 公司产品目前出货数百台，主要应用于国内的半导体设备公司，和客户机台在Fab厂持续稳定运行。
